射频溅射设备，需要在购置前进行环保申报。在进行上述建设项目或使用相关设备前，需按照《电磁辐射防护规定》GB8702-88中的标准，由省级环境保护行政主管部门确认是否达到豁免水平，进行环境保护申报登记。
第十一条 从事电磁辐射活动的单位和个人建设或者使用《电磁辐射建设项目和设备名录》（见附件）中所列的电磁辐射建设项目或者设备，必须在建设项目申请立项前或者在购置设备前，按本办法的规定，向有环境影响报告书（表）审批权的环境保护行政主管部门办理环境保护申报登记手续。
法律分析：凡列入《电磁辐射建设项目和设备名录》中的，都必须补办环境保护申报登记手续。对不符合环境保护标准，污染严重的，要采取补救措施，难以补救的要依法关闭或搬迁。从事电磁辐射活动的单位主管部门负责本系统、本行业电磁辐射环境保护工作的监督管理工作。
《电磁辐射环境保护管理办法》附件“电磁辐射建设项目和设备名录”中对豁免的项目已做明确规定。
第十一条 从事电磁辐射活动的单位和个人建设或者使用《电磁辐射建设项目和设备名录》（见附件）中所列的电磁辐射建设项目或者设备，必须在建设项目申请立项前或者在购置设备前，按本办法的规定，向有环境影响报告书（表）审批权的环境保护行政主管部门办理环境保护申报登记手续。
《电磁辐射环境保护管理办法》于1997年3月25日由国家环保局第十八号局令发布。是为加强电磁辐射环境保护工作的管理，有效地保护环境，保障公众健康，根据《中华人民共和国环境保护法》及有关规定制定的办法。
电磁辐射的管理办法主要由《电磁辐射环境保护管理办法》规定，该办法于1997年3月25日由国家环保局发布。监督管理：县级以上人民政府环境保护行政主管部门负责辖区内的电磁辐射环境保护工作的统一监督管理。从事电磁辐射活动的单位主管部门，要负责本系统、本行业电磁辐射环保工作的监督管理。
第十条 任何单位和个人在从事电磁辐射的活动时，都应当遵守并执行国家环境保护的方针政策、法规、制度和标准，接受环境保护部门对其电磁辐射环境保护工作的监督管理和检查；做好电磁辐射活动污染环境的防治工作。
1、第一章 总则第一条 为加强电磁辐射环境保护工作的管理，有效地保护环境，保障公众健康，根据《中华人民共和国环境保护法》及有关规定，制定本办法。
2、单位和个人需保持电磁辐射污染防治设施正常运转，不得擅自拆除或闲置。确需拆除或闲置的，需向市环境保护行政主管部门提出申请。进行电磁辐射监测，制定监测方案并备案。如监测发现异常，需及时向市环境保护行政主管部门报告。
3、为加强电磁辐射环境保护工作的管理，有效地保护环境，保障公众健康。本办法所称电磁辐射是指以电磁波形式通过空间传播的能量流，且限于非电离辐射，包括信息传递中的电磁波发射，工业、科学、医疗应用中的电磁辐射，高压送变电中产生的电磁辐射。
4、电磁辐射环境保护管理办法的第五章涉及到一些具体操作规定。首先，关于第三十二条，它明确了电磁辐射环境影响报告书或表的编制和审评所需费用的处理，这部分费用应遵循国家现有的相关法规标准进行执行。在管理中，第三十三条规定了一个重要的概念——豁免水平。
5、《电磁辐射环境保护管理办法》于1997年3月25日由国家环保局第十八号局令发布。是为加强电磁辐射环境保护工作的管理，有效地保护环境，保障公众健康，根据《中华人民共和国环境保护法》及有关规定制定的办法。
